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製品・サービス
単結晶シリコン材料
シリコンインゴット、チューブ、リング、ロッド
新製品画像は形状イメージです。実際の構造と仕様は承認図面に準拠します。
材料仕様
単結晶シリコンインゴット
単結晶シリコンチューブ
単結晶シリコンリング
材料種別
単結晶シリコン
単結晶シリコン
単結晶シリコン
主な寸法
450–600 mm（具体的な仕様は技術仕様書で確認）
450–600 mm（具体的な仕様は技術仕様書で確認）
450–600 mm（具体的な仕様は技術仕様書で確認）
純度
>8N
>8N
>8N
導電型
P型（ホウ素） / N型（リン）
P型（ホウ素） / N型（リン）
P型（ホウ素） / N型（リン）
抵抗率
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
寸法公差
±0.05 mm 以内
±0.05 mm 以内
±0.05 mm 以内
平面度
≤15 μm、高グレード ≤8 μm
≤15 μm、高グレード ≤8 μm
≤15 μm、高グレード ≤8 μm
表面粗さ
標準 Ra≤0.4 μm、研磨面 Ra≤0.1 μm
標準 Ra≤0.4 μm、研磨面 Ra≤0.1 μm
標準 Ra≤0.4 μm、研磨面 Ra≤0.1 μm
製品仕様、検査方法、納入状態は双方が確認した技術仕様書と図面に準拠します。