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ZJsilicon

材料规格

Material Specifications

单晶硅材料参数

以下参数摘自公司产品资料,供选型与技术沟通使用。具体可交付尺寸与指标按双方确认的技术协议执行。

材料类型

单晶硅

主力尺寸

450–600 mm(具体规格按技术协议确认)

纯度

>8N

导电类型

P 型(硼) / N 型(磷)

电阻率

<0.02、1–4、60–90 Ω·cm

尺寸公差

±0.05 mm 以内

平面度

≤15 μm,高等级 ≤8 μm

表面粗糙度

标准 Ra≤0.4 μm,抛光 Ra≤0.1 μm

交付形态

硅锭 / 硅筒 / 硅环

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半导体刻蚀硅材料产品说明书

单晶硅产品介绍

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