ZJsilicon
Material Specifications
以下参数摘自公司产品资料,供选型与技术沟通使用。具体可交付尺寸与指标按双方确认的技术协议执行。
材料类型
单晶硅
主力尺寸
450–600 mm(具体规格按技术协议确认)
纯度
>8N
导电类型
P 型(硼) / N 型(磷)
电阻率
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
尺寸公差
±0.05 mm 以内
平面度
≤15 μm,高等级 ≤8 μm
表面粗糙度
标准 Ra≤0.4 μm,抛光 Ra≤0.1 μm
交付形态
硅锭 / 硅筒 / 硅环
半导体刻蚀硅材料产品说明书
单晶硅产品介绍
请提供产品形态、尺寸图纸、导电类型、电阻率与交付要求。
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