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ZJsilicon

技术与制造

Technology & Manufacturing

大直径单晶技术

大直径单晶技术

采用 CZ 直拉法开展大直径单晶硅晶体生长,围绕晶体尺寸、导电类型与电阻率进行工艺控制。

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材料成形

材料成形

根据部件图纸确定加工余量,经定径、截断与掏孔形成硅锭、硅筒及硅环材料。

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精密加工

精密加工

围绕关键尺寸、公差与表面状态开展切割、研磨和精密加工,按技术协议确认交付要求。

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材料检验

材料检验

围绕材料性能、关键尺寸与表面状态,确认检测项目和判定要求,按技术协议完成材料检验。

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包装与交付

包装与交付

根据硅材料的形态与运输要求,安排清洁、防护、包装和产品标识,随交付要求准备相应文件。

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硅材料技术视觉

大直径单晶硅的制造路径

中晶创芯聚焦半导体刻蚀端大直径硅材料,建立从长晶到机加工的技术链条,覆盖单晶生长、切割、研磨与精密加工。

制造工艺

晶体生长

采用 CZ 直拉法开展单晶生长。根据目标材料确认晶体直径、导电类型、电阻率区间及氧碳含量要求,为后续加工建立材料基础。

定径成形

结合图纸和后续工序预留加工余量,通过定径与截断获得所需尺寸的硅锭。实心硅锭可作为交付形态,也可继续进入掏孔工序。

掏孔切割

对硅锭进行掏孔形成硅筒,再按目标厚度截断形成硅环毛坯。内外径、壁厚与切割余量应和后续精加工要求一并确认。

精密加工

按部件图纸进行研磨和精密加工,分别控制尺寸公差、平面度与表面粗糙度。普通加工面和抛光面的技术要求需在图纸中区分。

检验包装

按技术协议检查尺寸、电学性能、表面状态和外观,并确认随货文件与包装方式。对毛坯和精加工件采用各自约定的验收项目。

工艺研发与技术进展

2025 年完成 440 mm 晶体拉制与长晶复投料工艺试验。2026 年继续开展 36 寸热场和 600 mm 大直径产品的技术研发。

硅材料技术视觉

晶体与生产现场

单晶硅毛坯生产现场 01

晶体与生产现场

单晶硅毛坯生产现场 02

晶体外观

单晶硅晶体毛坯

晶体形态

单晶硅毛坯生产现场 04

生产现场

技术咨询与定制需求

请提供产品形态、尺寸图纸、导电类型、电阻率与交付要求。


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