材料规格 SPECIFICATIONS
单晶硅锭
单晶硅筒
单晶硅环
材料类型
单晶硅
单晶硅
单晶硅
主力尺寸
450–600 mm（具体规格按技术协议确认）
450–600 mm（具体规格按技术协议确认）
450–600 mm（具体规格按技术协议确认）
纯度
>8N
>8N
>8N
导电类型
P 型（硼） / N 型（磷）
P 型（硼） / N 型（磷）
P 型（硼） / N 型（磷）
电阻率
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
<0.02、1–4、60–90 Ω·cm
尺寸公差
±0.05 mm 以内
±0.05 mm 以内
±0.05 mm 以内
平面度
≤15 μm，高等级 ≤8 μm
≤15 μm，高等级 ≤8 μm
≤15 μm，高等级 ≤8 μm
表面粗糙度
标准 Ra≤0.4 μm，抛光 Ra≤0.1 μm
标准 Ra≤0.4 μm，抛光 Ra≤0.1 μm
标准 Ra≤0.4 μm，抛光 Ra≤0.1 μm
具体产品规格、检测方法及交付状态，以双方确认的技术协议和图纸为准。